四質譜計 型號:NGZL-203 貨號:ZH9531 產品簡介: 四質譜計是在高真空條件下,離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。 離子進入四過濾器按不同質荷比分離,采集離子流,放大后進行數據處理,獲得相應的質譜數據。 儀器可安裝在使用者的高真空設備上進行殘氣分析,亦可配備適當的高真空系統和進樣裝置作為立的分析儀器使用。 離子流采集的常規結構為法拉弟筒/通道倍增器復合式(即 FC/CEM )。離子流放大器的輸入高阻設為 10M Ω ,1G Ω , 100G Ω 三擋,采用電子倍增器方式時一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數據處理系統適用于 WindowsXP 或 Windows2000 ,儀器提供模擬譜圖,棒狀譜圖和多達 10 個離子的多離子監測譜圖。數據系統的接口界面由 80C 196 單片機( 16 位)以及 A/D 、 D/A 等構成,RS232 串口與電腦通訊實現儀器的控制與數據處理。儀器安裝方便,操作簡單,應用與真空科學、電子、半導體工業、石油化工的催化研究等多種領域。另外,本儀器可以派生為儀器,如,已用于計量作為鑒定分子漏孔的氦四質譜計。 指標 范圍:1-100u,1200u,1300u 靈敏度:1×10 -1A/Pa ( 對 N--2 ,帶CEM) 分辨率: △m <1(10% 谷) 峰位穩定性:±0.4u/4h 掃描速度:100ms-30s/u 檢 測 器:FC,FC/CEM ,或 FC/MCP (FC-法拉弟筒,CEM通道倍增器MCP-微通道板) zui高工作壓強:1×10 -2 Pa zui高烘烤溫度:30 0 ℃ 接口法蘭:CF50,CF63 電子單元尺寸:240×150×150mm 四探頭伸入真空腔尺寸: 1-100u:φ70X180mm 1-300u:φ70X250mm  |